Product
直動型
VCM駆動による高速応答と高い分解能を持ち、差動変圧器(LVDT)による位置決め制御を行います。
力フィードバック型
メカニカルフィードバックを持つ二段型サーボ弁。前段部でパワーを増幅することにより小型化を実現しました。
シリンダ
ボディにチタンを使用しています。シャフト部は高分解能(0.5μm)デジタルセンサに対応しています。
